構造PEEKカセットサポートワイヤー

PEEK カセット支持線 - 技術文書

概要

PEEK支持線はカセット内部に組み込まれ、TFT-LCD の各製造工程において、ガラス基板の保持・搬送・保護の役割を果たします。

技術仕様

パラメータ	値	単位	規格
密度	1.32	g/cm³	ISO 1183
ノッチ付き衝撃強さ	≥5	kJ/m²	ISO 180/1A
引張強度	≥101	MPa	ISO 527
熱膨張係数	40～50 × 10⁻⁶ /K (23～100°C)	-	ISO 11359-2
融点 (Tm)	≥ 343	°C	ISO 11357-3 (DSC)
曲げ弾性率	3.8	GPa	ISO 178
表面抵抗率	10⁶~10⁹	Ω/sq	ANSI/ESD STM11.11/11.12
アウトガス (TML/CVCM)	SEMI E49, NASA ASTM E595 に適合または上回る	-	ASTM E595

材料構成

コンポーネント	材料	割合	用途
コア	ステンレスワイヤロープ	85%	主構造コア
被覆	PEEK	8%	絶縁・耐熱・耐薬品性、クリーンルーム低放出
機能性添加剤（任意）	カーボンファイバー / ガラス繊維	2~5%	剛性向上

特長

• 高い耐摩耗性と自己潤滑性。
• 高純度かつ低アウトガス。
• 耐高温性。
• 耐薬品性。
• 寸法安定性。
• 耐食・耐老化性。
• 制御可能な熱膨張、帯電防止（ESD）性能。

化学耐性

化学品	耐性レベル	備考
酸類	良好	希薄な H2SO4、HCl、HNO3で確認
アルカリ類	良好	希薄な KOH、NH4OHで確認
有機溶剤	良好	膨潤・劣化しにくい
油類	優秀	膨潤・劣化しにくい
燃料	優秀	膨潤・劣化しにくい

温度耐性

温度 (°C)	機械特性の変化	適用性
≤260	強度を約95%保持	高温長期運用でも安定
300	強度が約80%まで低下	短時間使用に限る
≥350	性能が顕著に低下	非推奨

用途分野

• 半導体ウエハーカセットシステム：支持線ケーブルとしてウエハーの位置決めや信号伝送アセンブリに使用。
• 高純度自動化装置：クリーンルーム環境での機械運動・張力・支持用途。

使用ガイド

• 作業：常にクリーンルーム手袋を着用。皮脂や汚染物との接触を避け、可能な限り端部を保持。
• 取付：過度な引張やねじりを避けて損傷を防止。カセット設計要件に従って正確に設置し、確実に固定する。

保守

通常運用における点検事項：

• 点検：摩耗、表面の完全性、接続部の締結状態を定期確認。著しい摩耗・断線・緩みがあれば早期交換し、装置の正常運用を確保。
• 温度：指定されたPEEKグレードの連続使用温度を超えないこと。急速な熱サイクルは極力回避。
• 清掃：使用前後に無塵布または専用クリーナーで清掃。PEEKを侵す洗浄剤は避ける。

認証

認証	規格	地域
RoHS	RoHS 2011/65/EU	欧州
ANSI-ESD	S20.20	米国
FDA	21 CFR 177.2415	米国
ISO	ISO 9001:2015	グローバル